真空泵開始工作之前，首先由粗真空泵運行，抽真空達到一定的真空度后，這臺*真空泵啟動進行高精度抽真空。

     旋轉(zhuǎn)部件全部裝配在泵體內(nèi)，工作轉(zhuǎn)速24000r/min。真空泵體直徑約400mm，高約500mm。真空泵工作時，用一塊圓形的有機玻璃板蓋在真空泵體上，靠密封膠條密封。需要加校正配重塊時，真空泵停止旋轉(zhuǎn)破壞真空，打開有機玻璃蓋板，在泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子上加校正配重。

    轉(zhuǎn)速信號和相位參考信號只能用光電傳感器通過有機玻璃蓋拾取貼在轉(zhuǎn)子端面上的發(fā)光帶的反光信號，生成與轉(zhuǎn)子同頻率的脈沖。由于真空泵體是鋁制品，所以具有磁力座的振動傳感器只能吸附在真空泵支腿上，因為支腿是由磁性材料角鋼制成的。